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Chemo Pads CMP-Serie

Chemo Pads bestehen aus einer offenporigen Polyurethan-Struktur, die dafür entwickelt ist ein optimales chemisches Polieren, beispielsweise mit Siliziumdioxid, zu ermöglichen. Teilweise liefern sie auch mit mechanischen Poliermitteln optimale Ergebnisse.

FPX2

ABRASIVE

CMP-Superfinish
Diamantflüssigkeit

EIGENSCHAFTEN

glatte, geprägte oder strukturierte Oberfläche
sehr gut geeignet zur Bearbeitung von Quarz, Saphir, Siliziumkarbid, verschiedene Kristalle und Halbleitertechnik
Dicke 1,2 mm

FHC1

ABRASIVE

Diamantflüssigkeit 0,1-1 µ
AI₂O₃ | SiO₂

EIGENSCHAFTEN

gepuffertes Polyurethan
mikroskopische Löcher
laminiert
Härte: 69 Shore-A
Dicke: 1,5 mm

FKC7

ABRASIVE

Kolloidale Suspensionen oder Aluminium

EIGENSCHAFTEN

chemisch beständig
mikroporöses PU-Tuch
sehr gute Endpolitur
Dicke: 1,5 mm ±0,05
Härte: 66 Shore-A
Gewicht: 731 g/m²

Poliertücher

PU-Serie

NW-Serie

W-Serie

F-Serie